工業潔凈室重點以無生命的微粒為控制對象,側重點為塵埃粒子檢測。主要控制空氣塵埃微粒對故障對象的污染,內部一般保持正壓狀態。它適用于精密機械工業、電子工業(半導體、集成電路等)宇航工業、高純度化學工業、原子能工業、光磁產品工業(光盤、膠片、磁帶產生)LCD(液晶玻璃)、計算機硬盤、計算機磁頭生產等行業。

潔凈室竣工后,再投入使用之前,首先要經過第三方檢測機構的檢測,并且取得生物安全實驗室檢測合格報告,然后徹底消毒以后,才能正常使用。
正常使用的潔凈室也需要定期進行性能測試,以確保潔凈室或潔凈區始終符合相應的規范要求。潔凈室(區)認證檢測的基本內容包含空氣潔凈度等級、靜壓差和風速、風量的測定,且潔凈室或潔凈區性能測試認證工作應由專門檢測認證單位承擔,并提交檢測報告。GB 50073-2013《潔凈廠房設計規范》對潔凈室主要的檢測參數周期做了相應的規定!
空氣潔凈度測試周期至少每一年檢測一次。規范規定:空氣潔凈度等級≤5級,空氣潔凈度等級認證測試最長時間間隔為 6 個月;空氣潔凈度等級>5級,空氣潔凈度等級認證測試最長時間間隔為12個月。
如出現大修,空氣過濾異常,生產產品不合格疑似環境問題導致時,也需要進行潔凈室檢測。

在A、B、C、D級潔凈區塵埃粒子測試中A級、B級的采樣量每個點不少1000L實際每個點采樣量為50L/min×20min×1次,C級、D級的采樣量實際每個點為50L/min×1min×2次。
1 、測試條件
1.1靜態是指所有生產設備均已安裝就緒,但沒有生產活動且無操作人員在場的狀態。凈化空調系統至少運行30分鐘后方可進行測試。
1.2動態是指生產設備按預定的工藝模式運行并有規定數量的操作人員在現場操作的狀態。
1.3若生產車間停產后要恢復生產,則應在車間清潔后在靜態條件下進行檢測,而連續生產狀態下應定期進行靜態檢測及部分區域的動態監測。
2 、測試準備
2.1 在平面圖上標明取樣點以便常規取樣。
2.2檢查塵埃粒子計數器是否正常,并作外表潔凈后方可進入潔凈室,采樣管須清潔并無滲漏,儀器預熱至穩定。
3 、注意事項
3.1 對不同級別潔凈室,測定時應按粒子數從少到多的順序檢測。
3.2更換測試點時,應待儀器讀數下降至穩定后開始測試。
3.3靜態監測時進入潔凈室的人員不應超過二人;動態監測應在正常生產狀態下進行。
4、采樣方法、采樣量及監測頻次
4.1采樣方法:一般在離地面0.8—1.5m高度的水平面上(工作面)布點,采樣點數目不少于2個,總采樣次數不少于5次。
面積(平方米) | 采樣點數(個) |
<10 | 2-3 |
10 | 4 |
20 | 50 |
40 | 6-7 |
100 | 10 |

每個采樣點的平均粒子數須低于或等于規定的級別界限。
全部采樣點的粒子數平均值的95%置信上限不超過標準規定的界限。